

典型应用场景
半导体领域:12英寸晶圆超薄导电载具的精密支撑结构件、半导体测试设备的0.3mm超薄电磁屏蔽弹片,利用高流动性轻松成型超薄复杂结构,同时保持稳定的高导电性能,完全满足半导体超净车间的ESD防护要求。精密电子领域:高端消费电子的超薄高导电电磁屏蔽结构件、芯片封装测试设备的精密导电探针基座,高流动性特性轻松成型微米级的精密定位结构,保障探针的对位精度长期稳定。
RTP 2183 HF在半导体载具场景中,核心优势集中在「超薄复杂结构成型能力、高刚性高导电平衡、低翘曲高精度、超净低析出」四大维度, 解决了普通高碳纤维PEI难以成型薄壁精密载具的行业痛点,是12英寸晶圆高端超薄载具的专属高适配选型。
超薄复杂结构成型能力
熔体流动速率达25 g/10min,比标准RTP 2183提升60%以上,可轻松填充0.3mm以下的超薄精密流道,能直接成型晶圆载具上的微米级超薄定位卡槽、加强筋结构,无需额外机加工二次成型,大幅降低载具的整体重量,比传统标准PEI载具实现25%以上轻量化。
仅需60~90 MPa的注塑压力即可完成完整充模,比普通高碳纤维PEI降低30%的注塑压力,大幅降低大尺寸晶圆载具的注塑锁模力要求,普通精密注塑机即可完成大尺寸超薄载具的量产成型,降低量产设备门槛。
高刚性高导电性能平衡
20%短碳纤维增强体系保留了16500 MPa的超高拉伸模量,12英寸满片晶圆重载工况下长期蠕变形变量小于0.2%,载具的定位卡槽长期承载晶圆几乎无变形,保障晶圆取放的对位精度长期稳定。
体积电阻率稳定在10 Ω·cm,高导电网络实现70dB以上的EMI电磁屏蔽效果,完全阻挡半导体车间自动化搬运机器人的高频电机电磁信号穿透载具,避免干扰晶圆表面敏感电路,同时快速导出表面积累的静电,完全满足SEMI标准ESD防护要求。
低翘曲超高尺寸精度
低注塑压力特性让成型过程中载具内部的残余应力大幅降低,大尺寸晶圆载具成型后几乎不会出现翘曲变形,整体形位公差精度可稳定控制在±2μm以内,载具的晶圆定位卡槽的同轴度、平行度精度远超普通高碳纤维PEI载具。
极低的成型收缩率仅0.1~0.3%,大尺寸载具不同区域的收缩率均匀性大幅提升,量产批次之间的尺寸偏差小于±1μm,完全满足12英寸晶圆载具的超高精度量产一致性要求。
超净低析出高洁净度
高纯度改性体系无小分子挥发析出,金属杂质总含量<1ppm,材料本身的颗粒脱落率比普通高碳纤维PEI降低40%,完全适配Class 1级超净车间的洁净度要求,运行过程中不会在晶圆表面引入颗粒污染,大幅降低晶圆制程的良率损失。
材料本身的耐等离子体腐蚀性能优异,可承受半导体制程中常规的等离子体清洁工序反复处理,载具的使用寿命比普通PEI载具延长50%以上,降低产线的耗材更换成本。
本公司主要经营的产品有:全氟磺酸、全氟无定形聚合物、聚苯并咪唑、聚酰亚胺、聚醚醚酮、聚砜、高温尼龙、氟流体、氟树脂等特种塑料系列;PTFE改性助剂系列;氟橡胶等各种合成橡胶系列,与国内外知名化工企业合作,包括苏威、大金、科慕、旭硝子、赢创、威格斯等各类化工产品,并在合作中与这些公司形成长期良好的战略合作关系。交流;广纳博交的企业精神,愿与社会各界朋友精诚合作,共创美好家园!