核心热性能

机械与环境稳定性

超高纯度核心特性

Duratron CU60 PBI在半导体真空腔体中表现极为优异，是三菱化学Quadrant专为该场景定向优化的经典超高纯特种工程塑料，完全适配半导体制程对高洁净、耐 工况的核心要求。
✅ 核心优势表现
低释气特性：作为无填充级PBI，除水分外几乎无其他挥发性物质析出，完全满足高真空腔体的洁净度要求，不会在腔体内产生污染物影响晶圆良率。
超高纯度无杂质：离子杂质含量极低，几乎无金属离子析出，从根源上避免半导体制程中晶圆被金属杂质污染的风险，适配先进制程的严苛纯度要求。
耐温与性能保持：205℃以上的高温环境中，仍能保留远超其他无填充工程塑料的机械强度与负载能力，310℃长期连续工作下无明显热变形，适配腔体内部高温制程工况。
优异的耐等离子体腐蚀：在氟基、氯基等离子体长期轰击下，零件服役寿命远超传统PI、PEEK等工程塑料，大幅减少腔体维护停机时间。
稳定的绝缘性能：作为高绝缘等级材料，可作为腔体内部各类绝缘支撑组件，在高温真空环境下绝缘性能无明显衰减，避免腔体内部出现电弧击穿风险。

典型落地零件
真空腔体内部的绝缘支撑衬套、定位销
等离子蚀刻设备的腔体密封环、晶圆升降顶针
PVD/CVD设备的腔体内隔热垫片、气体分布板绝缘件
真空传输腔的各类精密绝缘螺丝、衬垫
该材料是目前半导体真空腔体应用中，综合性能表现最 的无填充工程塑料之一，被 头部半导体设备厂商广泛采用作为腔体内部核心零件的标准选材。